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实验与分析氦质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下，在仪器的检漏口连接标漏信号，检测氦质谱检漏仪在不同分子泵转速下，所获得的信号值。

实验器材：

(1)氦质谱检漏仪SFJ-231,1台；

(2)渗氦型标准漏孔（3.0×10-10Pa.m3/s),1只；

(3)渗氦型标准漏孔（1.5×10-Pa.m/s),1只；

(4)标准漏孔TL4-6,1只。

实验步骤：

(1)开启氦质谱检漏仪；

(2)仪器进入检漏状态运行2h后；

(3)仪器按下停止键，仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(5)待仪器进入待机状态

(6)将渗氦型标准漏孔(3.0×100Pa.mYs)连接在检漏口；

(7)检漏仪按开始键，检测仪器的显示值，并记录；

(8)仪器按下停止键后按下开始键，再次检测仪器的显示值，共记录3次数据(9)仪器在待机状态，进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1000Hz；

(10)重复7、8步骤；

(11)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(12)在仪器检漏口连接渗氦型标准漏孔(1.5X10*Pa.ms)1只；

(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500Hz；

(15)在仪器检漏口连接标准漏孔TL4-6(16)重复7、8、9、10步骤。

(16)重复7、8、9、10步骤。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。2020年12月10日，真空推出全新350和450涡轮分子泵，该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛，除了用于分析、真空工艺和半导体技术外，还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。

350和450性能强大、重量轻且占地面积小。凭借由前级真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承所组成的混合轴承，系列涡轮分子泵的轴承非常坚固，确保了很佳的可靠性。创新性的转子结构设计赋予了该涡轮分子泵诸多优点：对小分子气体的抽吸能力更大、前级真空泵兼容性广泛、气流量高以及对小分子气体的压缩比。由于可以安装在任意所需方向，该系列泵具有的和灵活性。

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近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的

高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧

分子泵的另一性能指标是,压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比与转速及分子量的关系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比较大。氦质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对He压缩比,从而提高对氦气的响应灵敏度。

分子泵的叶轮是高速旋转的精密件，在分子泵运转中，不允许固体杂物落到叶轮上,以避免损坏叶轮。也要防止大气突然冲入正在运转中的分子泵。因为这也有可能损坏叶轮，此外,分子泵运转过程中,要远离强磁场。结论改变氦质谱检漏仪的分子泵转速，检测信号值发生变化，仪器在运行时，分子泵转速改变后，只要改变漏率信号的修正系数，无需再次定标，即可保证检测漏率的准确性。

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